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Universitätsbibliographie | Universitätsbibliothek | TU Chemnitz

Ergebnis der Datenbankabfrage

Nr.	Titel	Autor	Jahr
1	MEMS Cantilever on High-Cycle Fatigue Testing of thin Metal Films	Jöhrmann, Nathanael* et al.	2023
2	Optimal design of piezoelectric MEMS for vibration monitoring system with nanoionics zero-energy memory elements	Shaporin, Alexey* et al.	2023
3	Storing MEMS Interfaces Without Electrical Auxiliary Energy for Long-Time Monitoring	Hoffmann, Martin et al.	2023
4	Accelerated Stress Testing for High-Cycle Fatigue of thin Al Films on piezo-driven MEMS Cantilever	Jöhrmann, Nathanael et al.	2022
5	High-Cycle Fatigue Testing of thin Metal Films on MEMS Cantilever	Jöhrmann, Nathanael* et al.	2022
6	Static High Voltage Actuation of Piezoelectric AlN and AlScN Based Scanning Micromirrors	Stöckel, Chris* et al.	2022
7	Design and technology for uniform aluminum nitride piezoelectric micromachined ultrasonic transducers with radial array	Stöckel, Chris et al.	2021
8	Piezoelectric Scanning Micromirror With Built-In Sensors Based on Thin Film Aluminum Nitride	Meinel, Katja* et al.	2021
9	Pressure Sensor Catheter based on Micromachined Aluminum Nitride Membrane Fiber Tip Fabry-Pérot-Interferometer	Friedemann, Marvin* et al.	2021
10	Pressure Sensor Catheter based on piezoelectric actuated Aluminum Nitride Membrane and Fiber Tip Fabry-Pérot-Interferometer	Friedemann, Marvin* et al.	2021
11	Speichernde Sensorkonzepte mit in-memory-Computing, ganz ohne elektrische Hilfsenergie	Hoffmann, Martin et al.	2021
12	Abschlussbericht ESF Nachwuchsforschergruppe E-PISA : Energieautarke, drahtlose piezoelektrische MEMS Sensoren und Aktoren in der Medizintechnik und Industrie 4.0	Böttger, Simon et al.	2020
13	Piezoelektrischer Mikrospiegel mit großem Scanwinkel, basierend auf Dünnschicht-Aluminiumnitrid	Meinel, Katja et al.	2019
14	Thin Film Piezoelectric Aluminum Nitride for Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers	Stöckel, Chris et al.	2018
15	Piezoelektrische Aluminiumnitrid-Dünnschichten für mikroelektromechanische Systeme	Stöckel, Chris	2016
16	High Precision Vibratory MEMS Gyroscope	Billep, Detlef et al.	2014
17	Precise determination of piezoelectric longitudinal charge coefficients for piezoelectric thin films assisted by finite element modeling	Stöckel, Chris et al.	2014
18	Optimization of MEMS/NEMS for reliable resonance frequencies	Stöckel, Chris et al.	2013
19	Untersuchungen zur Machbarkeit von Fleischqualitätsbewertung mit Impedanzspektroskopie	Tröltzsch, Uwe et al.	2010

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