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Nr. Titel Autor Jahr
1 Comparison of two types of silicon nitride grating couplers for 1550nm wavelength with slots and square holes and different deposition methods Schumann, Anne-Katrin* et al. 2025
2 Nanolithographic waveguides, couplers and ring resonators made of Si3N4 and AlN for photonics and quantum technologies Wecker, Julia* et al. 2025
3 Piezoelektrische Mikrosysteme : Entwurf, Fertigung und Charakterisierung piezoelektrischer mikroelektromechanischer Wandlersysteme auf Basis von Aluminiumnitrid Stöckel, Chris 2025
4 Aluminum-nitride-based modular photonic integrated circuit technology and characterization platform (PIC-TCP) Tank, Franz et al. 2024
5 MEMS Cantilever on High-Cycle Fatigue Testing of thin Metal Films Jöhrmann, Nathanael* et al. 2023
6 Optimal design of piezoelectric MEMS for vibration monitoring system with nanoionics zero-energy memory elements Shaporin, Alexey* et al. 2023
7 Storing MEMS Interfaces Without Electrical Auxiliary Energy for Long-Time Monitoring Hoffmann, Martin et al. 2023
8 Accelerated Stress Testing for High-Cycle Fatigue of thin Al Films on piezo-driven MEMS Cantilever Jöhrmann, Nathanael et al. 2022
9 High-Cycle Fatigue Testing of thin Metal Films on MEMS Cantilever Jöhrmann, Nathanael* et al. 2022
10 Static High Voltage Actuation of Piezoelectric AlN and AlScN Based Scanning Micromirrors Stöckel, Chris* et al. 2022
11 Design and technology for uniform aluminum nitride piezoelectric micromachined ultrasonic transducers with radial array Stöckel, Chris et al. 2021
12 Piezoelectric Scanning Micromirror With Built-In Sensors Based on Thin Film Aluminum Nitride Meinel, Katja* et al. 2021
13 Pressure Sensor Catheter based on Micromachined Aluminum Nitride Membrane Fiber Tip Fabry-Pérot-Interferometer Friedemann, Marvin* et al. 2021
14 Pressure Sensor Catheter based on piezoelectric actuated Aluminum Nitride Membrane and Fiber Tip Fabry-Pérot-Interferometer Friedemann, Marvin* et al. 2021
15 Speichernde Sensorkonzepte mit in-memory-Computing, ganz ohne elektrische Hilfsenergie Hoffmann, Martin et al. 2021
16 Abschlussbericht ESF Nachwuchsforschergruppe E-PISA : Energieautarke, drahtlose piezoelektrische MEMS Sensoren und Aktoren in der Medizintechnik und Industrie 4.0 Böttger, Simon et al. 2020
17 Piezoelektrischer Mikrospiegel mit großem Scanwinkel, basierend auf Dünnschicht-Aluminiumnitrid Meinel, Katja et al. 2019
18 Thin Film Piezoelectric Aluminum Nitride for Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers Stöckel, Chris et al. 2018
19 Piezoelektrische Aluminiumnitrid-Dünnschichten für mikroelektromechanische Systeme Stöckel, Chris 2016
20 High Precision Vibratory MEMS Gyroscope Billep, Detlef et al. 2014
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