Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Friedemann, Marvin* ; Voigt, Sebastian ; Kriebel, David ; Meinel, Katja ; Stöckel, Chris ; Hecker, Raoul ; Hiller, Karla ; Mehner, Jan
Pressure Sensor Catheter based on piezoelectric actuated Aluminum Nitride Membrane and Fiber Tip Fabry-Pérot-Interferometer
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Institut 2: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-8007-5656-8 | |
| URL/URN: | https://ieeexplore.ieee.org/document/9698301 | |
| Quelle: | MikroSystemTechnik Congress 2021, 2021 Nov 8-10, Ludwigsburg (Germany). - Berlin : VDE, 2021, S. 155-158 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Fabry-Pérot-Interferometer , Pressure sensor catheter , AlN membrane |
