Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Hoffmann, Martin ; Schmitt, Philip ; Wittemeier, Steffen ; Schaller, Falk ; Shaporin, Alexey ; Stöckel, Chris ; Geneiß, Volker ; Forke, Roman ; Hedayat, Christian ; Hilleringmann, Ulrich ; Kuhn, Harald ; Zimmermann, Sven
Storing MEMS Interfaces Without Electrical Auxiliary Energy for Long-Time Monitoring
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Förderung: | BMBF | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Electronic ISBN: 978-1-6654-9308-6 ; Print on Demand(PoD) ISBN: 978-1-6654-9309-3 ; Electronic ISSN: 2160-1968 ; Print on Demand(PoD) ISSN: 1084-6999 | |
| DOI: | doi:10.1109/MEMS49605.2023.10052634 | |
| URL/URN: | https://ieeexplore.ieee.org/document/10052634 | |
| Quelle: | 2023 IEEE 36th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2023 Januar 15-19, München (Germany). - IEEE, 2023 | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | Passive Sensoren , Zustandsüberwachung , vorausschauende Wartung , nanoionischer Speicher , Ratschenmechanismus | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Passive sensors , condition monitoring , predictive maintenance , nanoionic memory , ratcheting mechanism |
