Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Jöhrmann, Nathanael* ; Stöckel, Chris ; Wunderle, Bernhard
High-Cycle Fatigue Testing of thin Metal Films on MEMS Cantilever
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Electronic ISBN:978-1-6654-5836-8 ; Print on Demand(PoD) ISBN:978-1-6654-5837-5 | |
| DOI: | doi:10.1109/eurosime54907.2022.9758838 | |
| URL/URN: | https://ieeexplore.ieee.org/document/9758838 | |
| Quelle: | 2022 23rd International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems (EuroSimE), 25-27 April 2022, Malta. - IEEE, 2022 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | high-cycle fatigue testing , thin metal films , contact metallisation , thermo-mechanical fatigue , AlN |
