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Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Shaporin, Alexey* ; Stöckel, Chris ; Melzer, Marcel ; Schaller, Falk ; Forke, Roman ; Zimmermann, Sven ; Kuhn, Harald

Optimal design of piezoelectric MEMS for vibration monitoring system with nanoionics zero-energy memory elements


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut: Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)
Dokumentart: Konferenzbeitrag, referiert
ISBN/ISSN: Electronic ISBN: 979-8-3503-4597-1 ; Print on Demand(PoD) ISBN: 979-8-3503-4598-8 ; Electronic ISSN: 2833-8596 ; Print on Demand(PoD) ISSN: 2833-8553
DOI: doi:10.1109/EuroSimE56861.2023.10100827
URL/URN: https://ieeexplore.ieee.org/document/10100827
Quelle: 2023 24th International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems (EuroSimE), 2023 April 16-19, Graz (Austria), 1-5. - IEEE, 2023
Freie Schlagwörter (Deutsch): Schwingungen , Mikromechanische Geräte , Drahtlose Kommunikation , Drahtlose Sensornetzwerke , Messwertgeber , Schwingungsmessung , Sensorik
Freie Schlagwörter (Englisch): Vibrations , Micromechanical devices , Wireless communication , Wireless sensor networks , Transducers , Vibration measurement , Sensor systems

 

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