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Universitätsbibliothek
Universitätsbibliographie

Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Meinel, Katja ; Stöckel, Chris ; Melzer, Marcel ; Zimmermann, Sven ; Forke, Roman ; Hiller, Karla ; Otto, Thomas

Piezoelektrischer Mikrospiegel mit großem Scanwinkel, basierend auf Dünnschicht-Aluminiumnitrid


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut 1: Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)
Institut 2: Professur Smart Systems Integration
Dokumentart: Konferenzbeitrag, nicht referiert
ISBN/ISSN: 978-3-8007-5090-0 , 978-3-8007-5129-7 (E-Book)
Quelle: MikroSystemTechnik Kongress, 2019 Okt 28.-30., Berlin (Germany), S. 92-95. - Berlin/Offenbach : VDE-Verlag, 2019

 

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