Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Stöckel, Chris ; Meinel, Katja ; Melzer, Marcel ; Otto, Thomas
Thin Film Piezoelectric Aluminum Nitride for Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
ISBN/ISSN: | 978-1-5386-4707-3 , 978-1-5386-4708-0 , 2168-9229 , 1930-0395 | |
DOI: | doi:10.1109/ICSENS.2018.8589845 | |
URL/URN: | https://ieeexplore.ieee.org/document/8589845 | |
Quelle: | IEEE Sensors 2018, October 28 – 31, New Delhi (India). - IEEE Xplore Digital Library, 2018 | |
Freie Schlagwörter (Englisch): | PMUT , AIN , aluminium nitride |