Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Stöckel, Chris ;
Kaufmann, Christian ;
Schulze, Robert ;
Billep, Detlef ;
Gessner, Thomas
IEEE
Precise determination of piezoelectric longitudinal charge coefficients for piezoelectric thin films assisted by finite element modeling
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
ISBN/ISSN: | 978-1-4673-5996-2 | |
URL/URN: | doi:10.1109/ISAF.2013.6748725 | |
Quelle: | IEEE International Symposium on Applications of Ferroelectric and Workshop on Piezoresponse Force Microscopy, ISAF/PFM 2013 - Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium, Prague (Czech Republic), 2013 Jul 21-25, pp 194-196, 2014 | |
Freie Schlagwörter (Englisch): | Finite element analysis , piezoelectricity , piezoelectric thin films |