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Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Meinel, Katja ; Stoeckel, Chris ; Melzer, Marcel ; Zimmermann, Sven ; Forke, Roman ; Hiller, Karla ; Otto, Thomas

Piezoelectric Scanning Micromirror with Large Scan Angle Based on Thin Film Aluminum Nitride


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut 1: Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)
Institut 2: Professur Smart Systems Integration
Dokumentart: Konferenzbeitrag, referiert
ISBN/ISSN: 978-1-5386-8105-3 , 978-1-5386-8104-6 , 2167-0013 , 2167-0021
DOI: doi:10.1109/TRANSDUCERS.2019.8808723
URL/URN: https://ieeexplore.ieee.org/document/8808723 , https://ieeexplore.ieee.org/stamp/stamp.jsp?tp=&arnumber=8808723
Quelle: 2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems & Eurosensors XXXIII (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXXIII), 2019 June 23-27, Berlin (Germany), Proceedings, pp 1518-1521. - IEEE, 2019
Freie Schlagwörter (Englisch): Aluminum nitride , micromirror , microscanner , piezoelectric , aluminium compounds , finite element analysis , microactuators , micromirrors , piezoelectric thin films , silicon-on-insulator , springs (mechanical) , wide band gap semiconductors

 

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