Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Meinel, Katja ; Stoeckel, Chris ; Melzer, Marcel ; Zimmermann, Sven ; Forke, Roman ; Hiller, Karla ; Otto, Thomas
Piezoelectric scanning micromirror with built-in sensors based on thin film aluminum nitride
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-1-7281-1634-1 ; 978-1-7281-1635-8 ; 2168-9229 ; 1930-0395 | |
| DOI: | doi:10.1109/SENSORS43011.2019.8956929 | |
| URL/URN: | https://ieeexplore.ieee.org/document/8956929 | |
| Quelle: | 2019 IEEE SENSORS, Montreal, QC (Canada), 2019 Okt 27-30. - IEEE Xplore Digital Library, 2019 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | AlN , angle sensor , aluminum nitride , micromirror , microscanner , piezoelectric |
