Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Meinel, Katja ; Stoeckel, Chris ; Melzer, Marcel ; Zimmermann, Sven ; Forke, Roman ; Hiller, Karla ; Otto, Thomas
Piezoelectric scanning micromirror with built-in sensors based on thin film aluminum nitride
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
ISBN/ISSN: | Print ISSN: 1530-437X ; Electronic ISSN: 1558-1748 ; CD: 2379-9153 | |
DOI: | doi:10.1109/JSEN.2020.2997873 | |
URL/URN: | https://ieeexplore.ieee.org/stamp/stamp.jsp?arnumber=9099788 | |
Quelle: | In: IEEE Sensors Journal. - IEEE. - 21. 2020, 8, S. 9682 - 9689 | |
Freie Schlagwörter (Englisch): | Piezoelectric scanning micromirror with built-in sensors based on thin film aluminum nitride | |
Bemerkung: |
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