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Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Meinel, Katja ; Stoeckel, Chris ; Melzer, Marcel ; Zimmermann, Sven ; Forke, Roman ; Hiller, Karla ; Otto, Thomas

Piezoelectric scanning micromirror with built-in sensors based on thin film aluminum nitride


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut: Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)
Dokumentart: Artikel in Fachzeitschrift, referiert
ISBN/ISSN: Print ISSN: 1530-437X ; Electronic ISSN: 1558-1748 ; CD: 2379-9153
DOI: doi:10.1109/JSEN.2020.2997873
URL/URN: https://ieeexplore.ieee.org/stamp/stamp.jsp?arnumber=9099788
Quelle: In: IEEE Sensors Journal. - IEEE. - 21. 2020, 8, S. 9682 - 9689
Freie Schlagwörter (Englisch): Piezoelectric scanning micromirror with built-in sensors based on thin film aluminum nitride

Bemerkung:

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