Springe zum Hauptinhalt
Universitätsbibliothek
Universitätsbibliographie
Universitätsbibliothek 

Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Haase, Micha* ; Sayyed, Mudassir Ali ; Langer, Jan ; Reuter, Danny ; Kuhn, Harald

About the Data Analysis of Optical Emission Spectra of Reactive Ion Etching Processes—The Method of Spectral Redundancy Reduction


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut: Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)
Dokumentart: Artikel in Fachzeitschrift, referiert
ISBN/ISSN: 2571-6182 (Online)
DOI: doi:10.3390/plasma7010015
URL/URN: https://www.mdpi.com/2571-6182/7/1/15
Quelle: Plasma. - MDPI. - 7. 2024, 1, S. 258 - 283
Freie Schlagwörter (Deutsch): optische Emissionsspektroskopie , Trockenätzverfahren , spektrale Clusterbildung , Gaußsche Ähnlichkeitsmatrix
Freie Schlagwörter (Englisch): optical emission spectroscopy , dry etching processes , spectral clustering , Gaussian similarity matrix

Bemerkung:

_MA!N_
OA-Lizenz CC BY 4.0

 

Soziale Medien

Verbinde dich mit uns: