| Nr. | Titel | Autor | Jahr |
|---|---|---|---|
| 1 | About the Data Analysis of Optical Emission Spectra of Reactive Ion Etching Processes—The Method of Spectral Redundancy Reduction | Haase, Micha* et al. | 2024 |
| 2 | Real-Time End Point Detection via Automated Dynamic Mode Decomposition | Sayyed, Mudassir Ali* et al. | 2024 |
| 3 | Towards knowledge-enhanced process models for semiconductor fabrication | Rothe, Tom et al. | 2023 |
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Preisträgerinnen und Preisträger des Fotowettbewerbs „Gelebte Vielfalt sichtbar machen“ stehen fest – 14 Wettbewerbsbeiträge sind bis 30. Juni 2025 in einer Ausstellung in der Universitätsbibliothek zu sehen …
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