Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Rothe, Tom ; Sayyed, Mudassir Ali ; Langer, Jan ; Gottfried, Knut ; Schuster, Jörg ; Stoll, Martin ; Kuhn, Harald
Towards knowledge-enhanced process models for semiconductor fabrication
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik Allgemein | |
| Institut 2: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 3: | Professur Wissenschaftliches Rechnen | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Electronic ISBN: 979-8-3503-1097-9 ; Print on Demand(PoD) ISBN:979-8-3503-1098-6 ; Electronic ISSN: 2380-6338 ; Print on Demand(PoD) ISSN: 2380-632X | |
| DOI: | doi:10.1109/IITC/MAM57687.2023.10154872 | |
| URL/URN: | https://ieeexplore.ieee.org/document/10154872 | |
| Quelle: | 2023 IEEE International Interconnect Technology Conference (IITC) and IEEE Materials for Advanced Metallization Conference (MAM)(IITC/MAM), 2023 May 22-25, Dresden (Germany). - IEEE, 2023 | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | Modellierung von Halbleiterprozessen , Physik-informiertes maschinelles Lernen , Chemisch-mechanische Planarisierung | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | semiconductor process modeling , physics-informed machine learning , chemical-mechanical planarization |
