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Universitätsbibliographie

Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Sheremet, Evgeniya ; Fuchs, Florian ; Paul, Soumya D. ; Haas, Sven ; Vogel, Dietmar ; Rodriguez, Raul D. ; Zienert, Andreas ; Schuster, Jörg ; Reuter, Danny ; Gessner, Thomas ; Zahn, Dietrich R. T. ; Hietschold, Michael

Stress Analysis in Semiconductor Devices by Kelvin Probe Force Microscopy


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut 1: Professur Halbleiterphysik
Institut 2: Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)
Institut 3: Professur Smart Systems Integration
Institut 4: Professur Analytik an Festkörperoberflächen
Dokumentart: Poster
ISBN/ISSN: 0420-0195
Quelle: DPG-Frühjahrstagung Sektion Kondensierte Materie (SKM), Regensburg (Germany), 2016 Mar 06-11; Poster; Abstract in: Verhandlungen der DPG, 2016
Freie Schlagwörter (Englisch): KPFM , microanalysis , microscopy

 

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