Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Haas, Sven ;
Hafez, Nessma ;
Loebel, Kay-Uwe ;
Kögel, Elias ;
Ramsbeck, Marco ;
Reuter, Danny ;
Horstmann, John Thomas ;
Gessner, Thomas
Hoffmann, Martin (Tagungsleiter)
Direktintegrierte Feldeffekttransistoren als elektromechanische Wandler für mechanische Spannungen an Balkenstrukturen
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik | |
| Institut 3: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik Allgemein | |
| Institut 4: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-8007-4278-3 | |
| Quelle: | Mikro-Nano-Integration 6. GMM Workshop, Duisburg (Germany), 2016 Oct 5-6, pp13-16. - Berlin : VDE Verlag, 2016 |
