Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Hafez, Nessma ; Ramsbeck, Marco ; Koegel, Elias ; Haas, Sven ; Reuter, Danny ; Schramm, Michael ; Loebel, Kay-Uwe ; Horstmann, John Thomas ; Gessner, Thomas
Electrical Analysis of Integrated Field Effect Transistors as Electromechanical Transducer for Stress
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik | |
| Institut 2: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik Allgemein | |
| Institut 3: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 4: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzabstract | |
| URL/URN: | http://mne2016.org/wp-content/uploads/2016/09/MNE2016_webbooklet.pdf | |
| Quelle: | 42nd Micro and Nano Engineering, Vienna (Austria), 2016 Sep 19-23, Poster, p 155 |
