Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Haas, Sven ; Schramm, Michael ; Reuter, Danny ; Loebel, Kay-Uwe ; Horstmann, John Thomas ; Gessner, Thomas
Direct integrated strain sensors for robust temperature behaviour
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik | |
| Institut 3: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| URL/URN: | http://dx.doi.org/10.1109/TRANSDUCERS.2015.7180892 | |
| Quelle: | 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS), 2015, pp 184 - 187 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Stressed silicon , strained silicon , strained transistor , pressure sensor , piezo resistive effect , transistor , stressed transistor |
