Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Hafez, Nessma ; Ramsbeck, Marco ; Koegel, Elias ; Haas, Sven ; Reuter, Danny ; Schramm, Michael ; Loebel, Kay-Uwe ; Horstmann, John Thomas ; Gessner, Thomas
Elektrische Analyse von integrierten Feldeffekttransistoren als elektromechanische Wandler für mechanische Spannung
Electrical Analysis of Integrated Field Effect Transistors as Electromechanical Transducer for Stress
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik | |
| Institut 2: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 3: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-00-054047-9 | |
| Quelle: | 13. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, Chemnitz (Germany), 2016 Oct 25-26, S. 79 - 81 |
