Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Arnold, Markus* ; Voigt, Anja ; Haas, Sven ; Schwenzer, Falk ; Schwenzer, Gunther ; Reuter, Danny ; Gruetzner, Gabi ; Gessner, Thomas
Spray-coatable negative photoresist for high topography MEMS applications
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Online ISSN: 1361-6439 ; Print ISSN: 0960-1317 | |
| URL/URN: | doi:10.1088/1361-6439/aa5bcb | |
| Quelle: | In: Journal of Micromechanics and Microengineering. - IOP Publishing Ltd. - 27. 2017, 3 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | spray-coating , photolithography , negative resist , edge coverage , lift-off process , through-silicon-vias (TSVs) , microelectromechanical systems (MEMS) |
