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Nr. Titel Autor Jahr
1 Integration of (Poly-Si/Air)n Distributed Bragg Reflectors in a 150 mm Bulk Micromachined Wafer-Level MOEMS Fabrication Process Helke, Christian* et al. 2023
2 Mikromechanisch strukturierter, CMOS-kompatibler pyroelektrischer Detektor auf der Basis von dotiertem HfO2 in Trenchzellen Mutschall, Doris et al. 2022
3 Next Generation of Highly Miniaturized Bulk-Mems Fabry-Pérot Filters For Infrared Microspectrometers Ebermann, Martin* et al. 2019
4 MEMS Tunable Fabry-Pérot Filters for Infrared Microspectrometer Applications Neumann, Norbert et al. 2016
5 Tunable Fabry-Pérot interferometer with subwavelength grating reflectors for MWIR microspectrometers Meinig, Marco et al. 2016
6 Tunable MEMS Fabry-Pérot filters for infrared microspectrometers: a review Ebermann, Martin et al. 2016
7 A fast MEMS infrared microspectrometer for the measurement of hydrocarbon gases Ebermann, Martin et al. 2015
8 Electrically tunable Fabry-Pérot interferometer with inherent compensation of the influence of gravitation and vibration Meinig, Marco et al. 2015
9 Subwavelength Grating Reflectors for Fabrication Cost Reduction of Fabry-Perot Infrared Filters Rupprecht, Julia* et al. 2015
10 Subwavelength grating reflectors in MEMS tunable Fabry-Perot infrared filters with large aperture Kurth, Steffen et al. 2014
11 Technology Approaches for Tuneable IR Fabry-Perot Filters applied in Gas Sensing Microspectrometers Hiller, Karla et al. 2014
12 Tiny MID- and Long-Wave Infrared Spectrometer Module with a MEMS Dual-Band Fabry-Pérot Filter Ebermann, Martin et al. 2011
13 Tunable mid-infrared filter based on Fabry-Pérot interferometer with two movable reflectors Meinig, Marco et al. 2011
14 Entwurf und Technologie eines Dualband Fabry-Pérot-Filters für den mittleren Infrarotbereich mit zwei beweglichen Reflektoren Meinig, Marco et al. 2010
15 Miniaturisiertes Spektrometermodul für den mittleren und langwelligen Infrarotbereich mit mikromechanischem Dual-Band Fabry-Pérot Filter Ebermann, Martin et al. 2010
16 Nanostrukturierte Breitbandreflektoren und deren Anwendung in abstimmbaren mikromechanischen Infrarot-Filtern Kurth, Steffen et al. 2010
17 Recent advances in expanding the spectral range of MEMS Fabry-Pérot filters Ebermann, Martin et al. 2010
18 Sub-wavelength structures for infrared filtering Kurth, Steffen et al. 2010
19 Novel MWIR microspectrometer based on a tunable detector Neumann, Norbert et al. 2009
20 Tunable infrared detector with integrated micromachined Fabry-Perot filter. Neumann, Norbert et al. 2008
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