Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Neumann, Norbert ; Ebermann, Martin ; Hiller, Karla ; Seifert, Mario ; Meinig, Marco ; Kurth, Steffen
MEMS Tunable Fabry-Pérot Filters for Infrared Microspectrometer Applications
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-1-943580-15-6 | |
| URL/URN: | http://dx.doi.org/10.1364/AIO.2016.AIT4B.2 | |
| Quelle: | Applied Industrial Optics: Spectroscopy, Imaging and Metrology, Heidelberg (Germany), 2016 Jul 25-28; Proceedings of Imaging and Applied Optics 2016 |
