Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Ebermann, Martin ; Neumann, Norbert ; Hoppe, Silke ; Hiller, Karla ; Gittler, Elvira ; Meinig, Marco ; Kurth, Steffen
Miniaturisiertes Spektrometermodul für den mittleren und langwelligen Infrarotbereich mit mikromechanischem Dual-Band Fabry-Pérot Filter
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISBN: 978-3-00-032052-1 | |
| Quelle: | 10. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 2010 Oct 20-21, S. 26 - 31 |
