Neumann, Norbert ; Ebermann, Martin ; Hiller, Karla ; Kurth, Steffen
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| URL/URN: | doi:10.1117/12.816578 | |
| Quelle: | MOEMS and Miniaturized Systems VIII, San Jose (USA); Proceedings of SPIE, Vol. 7208, 2009 |
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