Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Neumann, Norbert ; Ebermann, Martin ; Kurth, Steffen ; Hiller, Karla
Tunable infrared detector with integrated micromachined Fabry-Perot filter.
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 1932-5150 | |
| Quelle: | In: Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS. - 7. 2008, 2, S. 021004 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Fabry-Perot filter , tunable infrared detector |
