Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Rupprecht, Julia* ; Kurth, Steffen ; Hiller, Karla ; Seifert, Mario ; Besser, Jan ; Meinig, Marco ; Ebermann, Martin ; Neumann, Norbert ; Gessner, Thomas
Subwavelength Grating Reflectors for Fabrication Cost Reduction of Fabry-Perot Infrared Filters
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
ISBN/ISSN: | ISSN: 2214-7853 | |
URL/URN: | doi:10.1016/j.matpr.2015.09.014 | |
Quelle: | Materials Today: Proceedings, 1st International Conference on Functional Integrated nano Systems - nanoFIS 2014 (Graz/Austria, 2014 Dec 03-05), vol. 2, issue 8 (2015), pp 4280-4288 | |
Freie Schlagwörter (Englisch): | Subwavelength structure , Fabry-Perot interferometer , infrared filter , tunable filter |