Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Ebermann, Martin ; Neumann, Norbert ; Hiller, Karla ; Gittler, Elvira ; Meinig, Marco ; Kurth, Steffen
Recent advances in expanding the spectral range of MEMS Fabry-Pérot filters
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| URL/URN: | doi:10.1117/12.843441 | |
| Quelle: | MOEMS-MEMS, MOEMS and Miniaturized Systems 2010, San Francisco, USA, 2010 Jan 23-28; Proceedings SPIE, 7594-32, 2010 |
