Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Ebermann, Martin ; Neumann, Norbert ; Binder, S. ; Meinig, Marco ; Seifert, Mario ; Kurth, Steffen ; Hiller, Karla
A fast MEMS infrared microspectrometer for the measurement of hydrocarbon gases
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| URL/URN: | doi:10.1109/TRANSDUCERS.2015.7181356 | |
| Quelle: | 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS), Anchorange (USA), 2015 Jun 21-2; Proceedings, pp 2037-2040 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS Fabry-Pérot filter , PbSe photodetector , hydrocarbon gases , offset elimination , drift compensation |
