Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Meinig, Marco ; Kurth, Steffen ; Seifert, Mario ; Hiller, Karla ; Wecker, Julia ; Ebermann, Martin ; Neumann, Norbert ; Gessner, Thomas
Tunable Fabry-Pérot interferometer with subwavelength grating reflectors for MWIR microspectrometers
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 9781628419948 ; ISSN 0277-786X | |
| URL/URN: | http://dx.doi.org/10.1117/12.2213647 | |
| Quelle: | Advanced Fabrication Technologies for Micro/Nano Optics and Photonics IX, San Francisco, CA (USA), 2016 Feb 14-17; Proceedings of SPIE ; 9759, p 97590W | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Mid-IR , Interferometers , Reflectors , Mirrors , Microelectromechanical systems , Simulations , Spectrometers , Transmittance , Silicon , Nanoimprint lithography |
