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Nr. Titel Autor Jahr
1 Bewertung von Verfahren zur Fließspannungsbestimmung in der Nanoindentation Clausner, André 2013
2 Charakterisierung von a-Si:H/c-Si-Heterokontakten und dünnen Schichten aus hydrogenisiertem amorphem Silizium, hergestellt mittels gepulstem DC-Magnetronsputtern Nobis, Frank 2013
3 FTIR analysis of a-SiCN:H films deposited by PECVD Peter, Siegfried et al. 2013
4 Mid-frequency PECVD of a-SiCN:H films and their structural, mechanical and electrical properties Peter, Siegfried* et al. 2013
5 Mikrostrukturierte Piezokeramik- und Faser-Komposit-Bauelemente für die Fertigung aktiver Halbzeuge Müller, Michael et al. 2013
6 RF überlagertes DC-Sputtern von transparenten leitfähigen Oxiden Heimke, Bruno 2013
7 Smarte Metallbleche durch direkte Funktionsintegration piezokeramischer Fasern in umgeformte Mikrostrukturen Schubert, Andreas et al. 2013
8 SPECIAL ISSUE Including rapid communications and original articles and Special section with papers from the Sixth Symposium on Vacuum-based Science and Technology 20-22 September, 2011, Kolobrzeg, Poland Richter, Frank et al. 2013
9 Electrical Characterization of Doped a-Si:H/c-Si Heterojunctions, Produced by Magnetron Sputtering Nobis, Frank et al. 2012
10 Harte amorphe wasserstoffhaltige Kohlenstoffschichten mittels mittelfrequenzgepulster Plasmaentladungen
 Günther, Marcus 2012
11 Spectroscopic Characterization of Amorphous Silicon/Silicon Heterodiodes Prepared by DC Pulsed Magnetron Sputtering Schäfer, Philipp et al. 2012
12 A comparative analysis of a-C:H films deposited from five hydrocarbons by thermal desorption spectroscopy Peter, Siegfried et al. 2011
13 Combination of ECR plasma and asymmetric bipolar pulsed bias voltage for deposition of hard a-C:H films Günther, Marcus et al. 2011
14 Determination of energy modulations of negative oxygen ions during pulsed magnetron sputtering of magnesium oxide Welzel, Thomas et al. 2011
15 Electrical and structural properties of magnetron sputtered hydrogenated amorphous Silicon films Nobis, Frank et al. 2011
16 Electron microscopy study of amorphous SiCN hard coatings Sendzik, Andrea et al. 2011
17 Fabrication and characterization of a form- and force-locked piezo-metal sensor module Neugebauer, Reinhard R. et al. 2011
18 Fabrication and Characterization of a Form- and Force-Locked Piezo-Metal Sensor Module Neugebauer, Reinhard R. et al. 2011
19 High Rate Deposition of Hard a-C:H Coatings Using Microwave Enhanced Plasma CVD Bialuch, Ingmar et al. 2011
20 High rate deposition of hard a-C:H films using microwave excited plasma enhanced CVD Günther, Markus et al. 2011
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