Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Peter, Siegfried* ; Günther, Marcus ; Berg, Sania ; Clausner, Andrae ; Richter, Frank
Mid-frequency PECVD of a-SiCN:H films and their structural, mechanical and electrical properties
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Physik fester Körper | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0042-207x (print), 1879-2715 (online) | |
| URL/URN: | doi:10.1016/j.vacuum.2012.04.001 | |
| Quelle: | In: Vacuum. - 90. 2013, S. 155 - 159 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | a-SiCN:H , Silicon carbonitride , PECVD , Mechanical properties , Chemical composition , Mid-frequency discharge |
