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Universitätsbibliothek
Universitätsbibliographie

Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Sendzik, Andrea ; Schulze, Steffen ; Günther, Marcus ; Richter, Frank ; Hietschold, Michael

Electron microscopy study of amorphous SiCN hard coatings


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut 1: Professur Analytik an Festkörperoberflächen
Institut 2: Professur Physik fester Körper
Dokumentart: Konferenzabstract
URL/URN: http://www.dpg-verhandlungen.de/2011/dresden/ds9.pdf
Quelle: 2011

 

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