Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Sendzik, Andrea ; Schulze, Steffen ; Günther, Marcus ; Richter, Frank ; Hietschold, Michael
Electron microscopy study of amorphous SiCN hard coatings
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut 1: | Professur Analytik an Festkörperoberflächen | |
Institut 2: | Professur Physik fester Körper | |
Dokumentart: | Konferenzabstract | |
URL/URN: | http://www.dpg-verhandlungen.de/2011/dresden/ds9.pdf | |
Quelle: | 2011 |