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Universitätsbibliothek
Universitätsbibliographie

Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Nobis, Frank ; Kupfer, Hartmut ; Breyer, Evelyn ; Schäfer, Philipp ; Zahn, Dietrich R. T. ; Richter, Frank

Electrical and structural properties of magnetron sputtered hydrogenated amorphous Silicon films


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut 1: Professur Physik fester Körper
Institut 2: Professur Halbleiterphysik
Dokumentart: Konferenzabstract
URL/URN: http://www.dpg-verhandlungen.de/2011/dresden/ds12.pdf
Quelle: 2011

 

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