Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Nobis, Frank ; Kupfer, Hartmut ; Breyer, Evelyn ; Schäfer, Philipp ; Zahn, Dietrich R. T. ; Richter, Frank
Electrical and structural properties of magnetron sputtered hydrogenated amorphous Silicon films
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut 1: | Professur Physik fester Körper | |
Institut 2: | Professur Halbleiterphysik | |
Dokumentart: | Konferenzabstract | |
URL/URN: | http://www.dpg-verhandlungen.de/2011/dresden/ds12.pdf | |
Quelle: | 2011 |