Peter, Siegfried ; Bernütz, Sabine ; Berg, Sania ; Richter, Frank
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Physik fester Körper | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN 0042-207X | |
| URL/URN: | doi:10.1016/j.vacuum.2013.04.014 | |
| Quelle: | In: Vacuum. - 98. 2013, SI 81 - SI 87 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | FTIR analysis , a-SiCN:H films , PECVD |
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