Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Peter, Siegfried ; Bernütz, Sabine ; Berg, Sania ; Richter, Frank
FTIR analysis of a-SiCN:H films deposited by PECVD
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Physik fester Körper | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Online ISSN: 1879-2715 ; Print ISSN: 0042-207X | |
| DOI: | doi:10.1016/j.vacuum.2013.04.014 | |
| Quelle: | In: Vacuum. - Elsevier B.V. - 98. 2013, SI 81 - SI 87 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | FTIR analysis , a-SiCN:H films , PECVD |
