Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Welzel, Thomas ; Dunger, Thoralf ; Liebig, Bernd ; Richter, Frank
Determination of energy modulations of negative oxygen ions during pulsed magnetron sputtering of magnesium oxide
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Physik fester Körper | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN 0963-0252 | |
| URL/URN: | doi:10.1088/0963-0252/20/3/035020 | |
| Quelle: | In: Plasma Sources Science and Technology . - 20 . 2011 , 3, S. 035020 |
