Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Bialuch, Ingmar ; Bewilogua, Klaus ; Günther, Marcus ; Peter, Siegfried ; Richter, Frank
High Rate Deposition of Hard a-C:H Coatings Using Microwave Enhanced Plasma CVD
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Physik fester Körper | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN 0737-5921, ISBN 978-1-878068-31-6 | |
| Quelle: | 54th Annual Technical Conference Chicago, April 16-21, 2011, Chicago, IL . - Society of Vacuum Coaters , 2011. - S. 537 - 540 |
