Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Peter, Siegfried ; Günther, Marcus ; Richter, Frank
A comparative analysis of a-C:H films deposited from five hydrocarbons by thermal desorption spectroscopy
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut: | Professur Physik fester Körper | |
Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
URL/URN: | doi:10.1016/j.vacuum.2011.07.037 | |
Quelle: | In: Vacuum. - 86.2012, 6, S. 667 - 671 |