Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Heimke, Bruno
Richter, Frank (Prof. Dr.) ; Weber, Jörg (Prof. Dr.) (Gutachter)
RF überlagertes DC-Sputtern von transparenten leitfähigen Oxiden
RF superimposed DC sputtering of transparent conductive oxides
Kurzfassung in deutsch
Die vorliegende Dissertation befasst sich mit dem RF- überlagerten DC-Sputtern von Indiumzinnoxid und aluminiumdotierten Zinkoxid. Bei dem dafür entwickelten synchron gepulsten RF/DC-Verfahren werden die zu untersuchenden Materialien gleichzeitig mit Hilfe eines RF- und eines PulsDC-Generators gesputtert.Ein wesentliches Resultat der Untersuchungen ist, dass durch RF- überlagertes DCSputtern Schichten abgeschieden werden können, die im Vergleich zum DC- bzw. PulsDC-Sputtern geringere spezifische Widerstände aufweisen. Dies ist auf eine Verringerung von Defekten in den abgeschiedenen Schichten zurückzuführen. Es konnte anhand der Untersuchungen gezeigt werden, dass fur die Abscheidung von Indiumzinnoxid und aluminiumdotiertem Zinkoxid die Substrattemperatur beim RF überlagerten DC-Sputtern gegenüber dem DC-Sputtern um bis zu 100°C verringert werden kann.
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Physik fester Körper | |
| Fakultät: | Fakultät für Naturwissenschaften | |
| Dokumentart: | Dissertation | |
| Betreuer: | Richter, Frank (Prof. Dr.) | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-941003-90-3 | |
| URL/URN: | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-116687 | |
| Quelle: | Chemnitz : Universitätsverlag der Technischen Universität Chemnitz, 2013. - 114 S. | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | Transparente leitfähige Oxide (TCO) , RF- überlagertes DC-Sputtern , Indiumzinnoxid (ITO) , aluminiumdotiertes Zinkoxid (ZnO:Al) , optische und elektrische Eigenschaften , SchichtdefekteTempern , Transparent-leitendes Oxid , Sputtern | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | RF superimposed DC sputtering , transparent conductive oxides (TCO) | |
| Tag der mündlichen Prüfung | 19.03.2013 |
