Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Günther, Marcus ; Peter, Siegfried ; Richter, Frank
Combination of ECR plasma and asymmetric bipolar pulsed bias voltage for deposition of hard a-C:H films
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut: | Professur Physik fester Körper | |
Dokumentart: | Konferenzabstract | |
URL/URN: | http://www.dpg-verhandlungen.de/2011/dresden/ds12.pdf | |
Quelle: | 2011 |