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Universitätsbibliothek
Universitätsbibliographie

Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Günther, Marcus ; Peter, Siegfried ; Richter, Frank

Combination of ECR plasma and asymmetric bipolar pulsed bias voltage for deposition of hard a-C:H films


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut: Professur Physik fester Körper
Dokumentart: Konferenzabstract
URL/URN: http://www.dpg-verhandlungen.de/2011/dresden/ds12.pdf
Quelle: 2011

 

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