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Nr. Titel Autor Jahr
1 Process and equipment modeling for chemical thin film deposition Jäckel, Linda 2025
2 Fabrication of switchable biocompatible, nano-fluidic devices using a thermoresponsive polymer on nano-patterned surfaces Bickmann, Christopher* et al. 2024
3 Impact of Dielectric Types on Surface Topography for Wafer-Level Hybrid Bonding Dubey, Vikas* et al. 2024
4 Investigations on Low-Temperature Aluminium Thermocompression Bonding Using Surface Passivation Technique Diex, Kevin et al. 2024
5 Investigations on low-temperature thermocompression bonding of passivated aluminum for enhanced wafer-level packaging and heterogeneous integration Diex, Kevin* et al. 2024
6 Low Temperature LiTaO3-to-Si Wafer Bonding Richter, Dominic et al. 2024
7 Modeling the temporal evolution and stability of thin evaporating films for wafer surface processing Huber, Max* et al. 2024
8 Molecular approach to semiconductors: a shift towards ecofriendly manufacturing and neuroinspired interfaces Monakhov, Kirill Yu.* et al. 2024
9 Navigating Complex Process and Design Challenges in Hybrid Bonding for Advanced Semiconductor Integration: A Comprehensive Analysis Dubey, Vikas* et al. 2024
10 Process Development of Aluminum Electroplating from an Ionic Liquid on 150 mm Wafer Level Braun, Silvia* et al. 2024
11 Alkaline earth metal and lanthanide ethylene glycol carboxylates for metal oxide layer formation by spin coating Scharf, Sebastian et al. 2023
12 Development of a Cobalt Atomic Layer Deposition Process using Co2(CO)6HC=CC5H11 as Precursor Franz, Mathias* et al. 2023
13 Fabrication of local areas of high aspect ratio silicon structures using metal-assisted chemical etching Franz, Mathias et al. 2023
14 Fabrication of local areas of high aspect ratio silicon structures using metal-assisted chemical etching - MACE Franz, Mathias et al. 2023
15 Impact of Dielectric and Copper Via Design on Wafer-to-Wafer Hybrid Bonding Dubey, Vikas* et al. 2023
16 Low temperature atomic layer deposition of cobalt using dicobalt hexacarbonyl-1-heptyne as precursor Franz, Mathias* et al. 2023
17 Nanolithographic Fabrication Technologies for Network-Based Biocomputation Devices Meinecke, Christoph R.* et al. 2023
18 Biocomputation Using Molecular Agents Moving in Microfluidic Channel Networks: An Alternative Platform for Information Technology Blaudeck, Thomas* et al. 2022
19 Integration von thermosensitiven Polymeren in nanoskalige Kanäle zur Realisierung von mikrofluidischen Schaltungen Bickmann, Ch. et al. 2022
20 Modeling the temporal evolution and stability of thin evaporating films for wafer surface processing Huber, Max* et al. 2022
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TUCaktuell

  • Mehrere Personen stehen an Tischen, auf denen Informationsmaterialien liegen.

    Diversität in vielen Facetten

    Weltoffenheit, Vielfalt und Toleranz – die TU Chemnitz präsentierte zum dritten Diversity Day am 20. Mai 2025, wie sie sich mit diesen Themen auseinandersetzt …

  • Icon einer Fotokamera vor einem Bild mit bunten Regenschirmen.

    Kreative Blicke auf das Thema Diversität

    Ausstellung zum Fotowettbewerb „Gelebte Vielfalt sichtbar machen“ wird am 27. Mai 2025 um 18:00 Uhr in der Universitätsbibliothek eröffnet …

  • Studierende verscheidener Nationalitäten sitzen im Hörsaal.

    Im Fokus der Wissenschaft: Hochschulen in der DDR

    Tagung an der TU Chemnitz beleuchtet vom 3. bis 5. Juni 2025 die Rolle der Hochschulen in der Deutschen Demokratischen Republik – Ausstellung von sechs ostdeutschen Universitätsarchiven gibt zudem Einblicke in den studentischen Alltag im letzten Studienjahr der DDR …

  • Ein Mann mit Helm steht vor einem Förderturm im Sonnenuntergang.

    „Rummelplatz“ – eine ganz besondere Zeitreise

    TU Chemnitz ist Kooperationspartnerin der Konferenz zur Uraufführung der Oper „Rummelplatz“ ­– Für den Science Slam „Von Atommacht bis Zonen-Pop“ können bis zum 6. Juni 2025 Kurzbewerbungen eingereicht werden …

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