Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Richter, Dominic ; Wünsch, Dirk ; Dubey, Vikas ; Stoll, Fiete ; Wiemer, Maik ; Schulz, Stefan
Low Temperature LiTaO3-to-Si Wafer Bonding
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Electronic ISBN: 979-8-3315-1991-9 ; Print on Demand(PoD) ISBN: 979-8-3315-1992-6 | |
| DOI: | doi:10.1109/LTB-3D64053.2024.10774136 | |
| URL/URN: | https://ieeexplore.ieee.org/stamp/stamp.jsp?tp=&arnumber=10774136&tag=1 | |
| Quelle: | 2024 8th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration (LTB-3D), 2024 October 30 - November 01, Nara (Japan). - IEEE, 2024 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Wafer bonding , Conferences , Silicon , Plasmas , Plasma temperature , Bonding , Three-dimensional integrated circuits , Lithium compounds |
