Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Wecker, Julia* ; Tank, Franz ; Schermer, Sebastian ; Stöckel, Chris ; Helke, Christian ; Shaporin, Alexey ; Schumann, Anne-Katrin ; Martin, Jörg ; Forke, Roman ; Hiller, Karla ; Haase, Micha ; Weiß, Alexander ; Reuter, Danny
Nanolithographic waveguides, couplers and ring resonators made of Si3N4 and AlN for photonics and quantum technologies
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Electronic ISBN:979-8-3315-1244-6 ; Print on Demand(PoD) ISBN:979-8-3315-1245-3 | |
| DOI: | doi:10.1109/ssi65953.2025.11107193 | |
| URL/URN: | https://ieeexplore.ieee.org/document/11107193/authors#authors | |
| Quelle: | 2025 Smart Systems Integration Conference and Exhibition, SSI 2025, 2025 Apr 8-10, Prague (Czech Republic). - IEEE, 2025 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | grating coupler , integrated photonics , nanolithography , optical waveguide , ring resonator | |
Bemerkung: |
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