Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Wecker, Julia ; Hiller, Karla ; Großmann, Toni ; Hahn, Susann ; Kurth, Steffen ; Helke, Christian ; Küchler, Matthias ; Reuter, Danny ; Martin, Jörg ; Weiß, Alexander ; Kuhn, Harald
Tunable Fabry-Pérot interferometer integrated in a silicon waveguide of an on-chip optical platform for long infrared wavelengths
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN: 0277-786X ; ISSN: 1996-756X (electronic) ; ISBN: 9781510659575 ; ISBN: 9781510659582 (electronic) | |
| DOI: | doi:10.1117/12.2650524 | |
| Quelle: | Silicon Photonics XVIII, 2023 28 January - 3 February, San Francisco (California, United States), 1-16. - SPIE, 2023. - Proceedings Volume ; 12426 | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | Wellenleiter , Ätzen , Abstimmbare Filter , Aktoren , Durchlässigkeit | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Waveguides , Etching , Tunable filters , Actuators , Transmittance | |
Bemerkung: |
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