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Universitätsbibliographie

Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Meinel, Katja* ; Melzer, Marcel ; Stoeckel, Chris ; Shaporin, Alexey ; Forke, Roman ; Zimmermann, Sven ; Hiller, Karla ; Otto, Thomas ; Kuhn, Harald

2D Scanning Micromirror with Large Scan Angle and Monolithically Integrated Angle Sensors Based On Piezoelectric Thin Film Aluminum Nitride


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut 1: Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)
Institut 2: Professur Smart Systems Integration
Dokumentart: Artikel in Fachzeitschrift, referiert
ISBN/ISSN: 1424-8220
DOI: doi:10.3390/s20226599
Quelle: In: Sensors. - MDPI AG. - 20. 2020, 22, 6599
SWD-Schlagwörter: Mikrosystemtechnik, Mikroaktor, Mikrooptik
Freie Schlagwörter (Englisch): 2D , AlN , aluminum nitride , angle sensor , micromirror , microscanner , two-dimensional scanning , piezoelectric
DDC-Sachgruppe: 621.365
OA-Lizenz CC BY 4.0

 

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