Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Meinel, Katja* ; Melzer, Marcel ; Stoeckel, Chris ; Shaporin, Alexey ; Forke, Roman ; Zimmermann, Sven ; Hiller, Karla ; Otto, Thomas ; Kuhn, Harald
2D Scanning Micromirror with Large Scan Angle and Monolithically Integrated Angle Sensors Based On Piezoelectric Thin Film Aluminum Nitride
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 1424-8220 | |
| DOI: | doi:10.3390/s20226599 | |
| Quelle: | In: Sensors. - MDPI AG. - 20. 2020, 22, 6599 | |
| SWD-Schlagwörter: | Mikrosystemtechnik, Mikroaktor, Mikrooptik | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | 2D , AlN , aluminum nitride , angle sensor , micromirror , microscanner , two-dimensional scanning , piezoelectric | |
| DDC-Sachgruppe: | 621.365 | |
| OA-Lizenz | CC BY 4.0 |
