Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Heldt, Georg ; Weiß, Alexander ; Helke, Christian ; Erben, Jens-Wolfram ; Kurth, Steffen ; Meinig, Marco ; Martin, Jörg ; Otto, Thomas ; Hiller, Karla ; Reuter, Danny ; Gessner, Thomas
Elektronenstrahl-lithographisch erzeugte Nanostrukturen für optische Mikrosysteme
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-00-054047-9 | |
| Quelle: | 3. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, Chemnitz (Germany), 2016 Oct 25-26, S. 41 - 42 |
