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Universitätsbibliographie

Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Heldt, Georg ; Weiß, Alexander ; Helke, Christian ; Erben, Jens-Wolfram ; Kurth, Steffen ; Meinig, Marco ; Martin, Jörg ; Otto, Thomas ; Hiller, Karla ; Reuter, Danny ; Gessner, Thomas

Elektronenstrahl-lithographisch erzeugte Nanostrukturen für optische Mikrosysteme


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut 1: Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)
Institut 2: Professur Smart Systems Integration
Dokumentart: Konferenzbeitrag, referiert
ISBN/ISSN: 978-3-00-054047-9
Quelle: 3. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, Chemnitz (Germany), 2016 Oct 25-26, S. 41 - 42

 

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