Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Schindler-Saefkow, Florian ; Rost, Florian ; Otto, Alexander ; Pantou, Remi ; Mrossko, Raul ; Wunderle, Bernhard ; Michel, Bernd ; Rzepka, Sven ; Keller, Jürgen
Stress impact of moisture diffusion measured with the stress chip
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-1-4673-6138-5 | |
| URL/URN: | doi:10.1109/EuroSimE.2013.6529941 | |
| Quelle: | 14th International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems (EuroSimE), 14-17 April 2013 , Wroclaw, Poland, pp 1 - 5 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Stress chip , stress sensing |
