Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Mueller, Steve ; Waechtler, Thomas ; Tuchscherer, André ; Mothes, Robert ; Gordan, Ovidiu ; Lehmann, Daniel ; Haidu, Francisc ; Ogiewa, Marcel ; Gerlich, Lukas ; Ding, Shao-Feng ; Schulz, Stefan E. ; Gessner, Thomas ; Lang, Heinrich ; Zahn, Dietrich R. T. ; Qu, Xin-Ping ; Hofmann, Lutz
Thermal ALD of Cu via reduction of CuxO films for the advanced metallization in spintronic and ULSI interconnect systems
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Institut 3: | Professur Halbleiterphysik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISBN: 978-1-4577-0431-4 | |
| DOI: | doi:10.1109/SCD.2011.6068736 | |
| Quelle: | Semiconductor Conference Dresden, 2011 Sep 27-28; IEEE Proceedings, 2011 |
