Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Franz, Mathias* ; Jäckel, Linda ; Hu, Xiao ; Kaßner, Lysann ; Thurm, Camilla ; Rittrich, Dirk ; Helke, Christian ; Schuster, Jörg ; Daniel, Marcus ; Stahr, Frank ; Rüffer, Natalia ; Kretschmer, Robert ; Schulz, Stefan E.
Low-temperature ALD of metallic cobalt using the CoCOhept precursor: Simulation-assisted process development for deposition on temperature sensitive 3D-structures
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik Allgemein | |
| Institut 2: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 3: | Professur Anorganische Chemie | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Online ISSN 1520-8559 ; Print ISSN 0734-2101 | |
| DOI: | doi:10.1116/6.0004248 | |
| Quelle: | In: Journal of Vacuum Science & Technology A. - American Vacuum Society. - 43. 2025, 2, 022412 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | ALD , cobalt | |
| OA-Lizenz | CC BY 4.0 |
