Ergebnis der Datenbankabfrage
| Nr. | Titel | Autor | Jahr |
|---|---|---|---|
| 1 | Low-temperature ALD of metallic cobalt using the CoCOhept precursor: Simulation-assisted process development for deposition on temperature sensitive 3D-structures | Franz, Mathias* et al. | 2025 |
| 2 | Low temperature atomic layer deposition of cobalt using dicobalt hexacarbonyl-1-heptyne as precursor | Franz, Mathias* et al. | 2023 |
| Anzahl der Ergebnisseiten: | 1 |
| Anzahl der Dokumente: | 2 |