Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Helke, Christian* ;
Seiler, Jan ;
Meinig, Marco ;
Großmann, Toni Dirk ;
Bonitz, Jens ;
Haase, Micha ;
Zimmermann, Sven ;
Ebermann, Martin ;
Kurth, Steffen ;
Reuter, Danny ;
Hiller, Karla
Kubota, Hisao
Integration of (Poly-Si/Air)n Distributed Bragg Reflectors in a 150 mm Bulk Micromachined Wafer-Level MOEMS Fabrication Process
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Online ISSN:1931-4981 ; Print ISSN:1931-4973 | |
| DOI: | doi:10.1002/tee.23960 | |
| URL/URN: | https://onlinelibrary.wiley.com/doi/full/10.1002/tee.23960 | |
| Quelle: | In: IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering. - WILEY. - 18. 2023, 12 | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | (Poly-Si/Air)n , MOEMS Fabry-Pérot-Interferometer | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | (Poly-Si/Air)n , MOEMS Fabry-Pérot-Interferometer | |
| OA-Lizenz | CC BY-NC 4.0 |
